1殺菌作用
        臭氧是良好的氧化性殺生劑。臭氧與蛋白質結合，破壞細胞呼吸所需的還原酶的活性臭氧化后檢驗細菌的細胞時發現，細胞已失去維持生命的細胞質而被破壞。臭氧不僅能夠氧化細菌，還能夠氧化細菌的有機食物源，試驗表明]、臭氧殺滅了在水池和壁面繁殖的藻類。將一叢長度為6ram的水藻放在水池中使其生長，當使用臭氧并將氧化還原電勢維持在750mY，在一天內，水藻由亮轉變為黑；四天內，由黑轉變為褐色并在一星期內死亡。臭氧殺生作用的效果與水的pH值、溫度、有機物含量等園素有關。水中的臭氧濃度約為0.25mg/I時，就能很好的控制系統中的微生物數量，滿足工業中對微生物的要求。
        在用臭氧進行水處理時。一般將氧化還原電勢保持在500mV以上及750mV以下。氧化還原電勢低于500mV以下時，基本上就不能控制細菌和藻類的生長。在系統中，正確利用臭氧進行水處理。就可將其中的細菌總量數量級控制在l0以內。那么，水系統中水的清晰度就可與維護很好的游泳池水相比。
        2阻垢作用
        冷卻系統中的水垢控制對冷卻系統高教運行來說是非常重要的。水垢附著在微生物膜上，稱為生物粘泥。固為臭氧是一種很好的氧化性殺生劑，它可以除去水垢附著的微生物膜，正確使用臭氧進行處理，水系統中就不會有吸附水垢的微生物膜，從而達到減少的效果。但對水中溶解的磷酸鈣、硅酸鈣、硅酸鎂等物質，當其陰、陽離子濃度的乘積超過其本身溶度積時，也會生成沉淀。這種水垢用臭氧也難以除去。但在水中如有過量的磷酸根或si02，則磷酸鈣垢和硅酸鹽垢一般是不容易生成的。
        保持水質對保證系統無垢而言是很重要的。在高濃度水的循環中，鈣和碳酸根從溶液中沉淀出來，以最常見的水垢——碳酸鈣的形式懸浮在水中。在潔凈的系統中，水垢粒子處于冷卻系統的低速區(通常是的冷水池)申除了通過排污將懸浮的礦物質排除，過濾及物理除垢也是必要的。
        3緩蝕作用
        一般來說，翼氧并不被認為是。但在應用實例中發現。臭氧既能殺菌滅藻，又能阻垢和緩蝕。試驗表明，采用臭氧進行水處理的冷卻系統中，絕大多數的系統具有較低的鋼腐蝕率，在某些情況下。甚至90天金屬試樣的腐蝕量低于檢測下限。
        對冷卻塔進行棗處理所需的臭氧數量主要取決于兩因紊：1)進A冷卻塔的水流速度、承量水溫商溫縮短臭氧壽命；2)進水中細菌和病原體數量以及空氣中的病原體。