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        微機電系統(MEMS)技術 微幾何量評定總則

        標 準 號: GB/T 26113-2010
        替代情況:
        發布單位: 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
        起草單位: 中機生產力促進中心、西安交通大學、天津大學、中原工學院
        發布日期: 2011-01-10
        實施日期: 2011-10-01
        點 擊 數:
        更新日期: 2025年12月27日
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        內容摘要

        本標準規定了微幾何量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規則。
        本標準適用于企業、研究機構、檢測機構等從事微機電技術及產品的研究、設計、生產、檢測。

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