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        半絕緣碳化硅單晶的電阻率非接觸測試方法

        標 準 號: GB/T 42271-2022
        替代情況:
        發布單位: 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
        起草單位: 北京天科合達半導體股份有限公司、中關村天合寬禁帶半導體技術創新聯盟
        發布日期: 2022-12-30
        實施日期: 2023-04-01
        點 擊 數:
        更新日期: 2023年02月19日
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        內容摘要

        本文件描述了半絕緣碳化硅單晶的電阻率非接觸測試方法。
        本文件適用于測量電阻率范圍為 1×10 5 Ω·cm~1×1012Ω·cm的半絕緣碳化硅單晶片。

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