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        III族氮化物半導體材料中位錯成像的測試 透射電子顯微鏡法

        標 準 號: GB/T 44558-2024
        替代情況:
        發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
        起草單位: 東莞市中鎵半導體科技有限公司、TCL環(huán)鑫半導體(天津)有限公司、蘇州大學等
        發(fā)布日期: 2024-09-29
        實施日期: 2025-04-01
        點 擊 數(shù):
        更新日期: 2025年08月21日
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        內(nèi)容摘要

        本文件描述了用透射電子顯微鏡測試Ⅲ族氮化物半導體材料中位錯成像的方法。本文件適用于六方晶系Ⅲ族氮化物半導體的薄膜或體單晶中位錯成像的測試。

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