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        石英玻璃碇 第3部分:等離子化學氣相沉積法

        標 準 號: JC/T 2392.3-2023
        替代情況:
        發布單位: 中華人民共和國工業和信息化部
        起草單位:
        發布日期: 2023-12-20
        實施日期: 2024-07-01
        點 擊 數:
        更新日期: 2026年01月13日
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        內容摘要

        本文件規定了等離子化學氣相沉積法石英玻璃碇的分級、要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存。本文件適用于以四氯化硅等無氫含硅化合物為原料,在等離子高溫火焰中氣相化學反應沉積而成的石英玻璃碇。

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