本文件規定了用光腔衰蕩光譜法測定氣體中微量水分的試驗方法，包括原理、試驗條件、試劑與材料、儀器設備、采樣、試驗步驟、試驗數據處理、精密度、質量保證和控制、試驗報告等內容的具體要求。
本文件適用于氣體中微量及痕量水分含量的測定，測定范圍：1.0×10-9（摩爾分數）～20×10-6（摩爾分數）。
本文件不適用于可損壞玻璃鏡面的氣體，例如氟化氫、氟氣；不適用于對水的吸收光譜有干擾的氣體，例如硅烷、甲烷、鍺烷。